SPDR用于測量包括LTCC襯底在內的層狀電介質材料的復介電常數,也用于沉積在低損耗介質襯底上的薄鐵電薄膜。此外,SPDR可用于測量各種導電材料(如商用電阻層,薄導電聚合物膜或高電阻率半導體)的表面電阻和電導率。這種測量僅適用于Rs> 5kΩ/平方的大表面電阻采樣。樣品的最小尺寸取決于諧振器的工作頻率。SPDR適合在-270℃至110℃的溫度下工作。
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