FLEXI-FLOW緊湊型FF-M10和FF-M11緊湊型質量流量/壓力計適用于在真空和17 bar（a）之間的工作壓力下測量0…500 ml_n/min和0…20 l_n/min之間的流量范圍。該儀器結合了基于毛細管MEMS技術的快速穩定的熱質量流量傳感器和準確可靠的旁路結構。由于獨特的TCS技術（通過芯片傳感器），建立了與溫度和管路壓力變化無關的準確質量流量測量。結合集成的溫度和上下游壓力傳感器，22種氣體的嵌入式數據庫可實現準確的車載轉換。多參數儀表為用戶提供有用的過程信息：

-型號FF-M10：流量+溫度

-型號FF-M11：流量+溫度+上下游壓力

• 緊湊型氣體質量流量和壓力表
• 集成氣體轉換模塊
• 22種氣體嵌入
• 多參數輸出：質量流量、溫度和壓力
• USB-C和藍牙通信
• Namur NE107狀態指示

產地：荷蘭

流量范圍（可用的中間范圍）：min.0…500 ml_n/min

Max.0…20 l_n/min（基于N2）

壓力范圍：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）

精度（包括線性度）（基于實際校準）：高達±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空氣/O2）；

對于其他氣體，增加轉換不確定性；

重復性

流量傳感器：<±0,2%Rd；

壓力傳感器：<±0,2%FS

減速比：高達1:1000

工作壓力：max.16 bar g

22種獨特氣體以及這些氣體的任何混合物的多氣體/多量程嵌入式氣體數據

響應時間（傳感器）：<30 ms（T63）

3年內長期穩定性：<0,5%FS；每年<0,2%FS

安裝：任何位置，姿態靈敏度可忽略不計

溫度傳感器靈敏度：zero 00015%FS/ºC；span 0,03%Rd/ºC；

壓力傳感器靈敏度：zero 0,16 mbar/ºC；span 0,05%Rd/ºC

溫度精度：±0,2ºC（儀器本體溫度）

壓力傳感器精度：±0,5%FS

壓力敏感度（標準）：<0,15%Rd/bar，典型N2；

壓力校正：<0.02%Rd，典型N2

泄漏完整性，外側測試：<2 x 10^-9 mbar l/s He

機械部分

儀表本體：鋁或不銹鋼（可選）

材料（接液部件）：鋁、不銹鋼、氮化硅、環氧樹脂、氧化鋁、玻璃

表面質量：<1.6μRa（不銹鋼閥體<0.8μRa）

壓力等級（PN）：16 bar（g）/250 psig

工藝連接可選：壓縮式、推入式或端面密封聯軸器

密封件默認值：FKM 51415；

其他材料：請聯系工廠

重量：200 g，鋁閥體，300 g，不銹鋼316閥體

防護等級：IP40

電氣特性

電源：24 Vdc±10%

功耗：max.0,35 W

數字通信：Modbus RTU或FLOW-BUS（可選）

支持USB-C接口，便于設置；

用于監控的可選藍牙連接

電氣連接：9針D-sub（公頭）