一種用于波前控制的多功能可變形反射鏡系統(tǒng)。

流行的Multi-DM系列以易于使用的包裝提供復雜的像差補償。這種類型的系統(tǒng)具有137或140個準確控制的元件和低致動器間耦合，非常適合廣泛的應用，包括顯微鏡、天文學、視網(wǎng)膜成像和激光束成形。

MEMS 可變形反射鏡的架構可實現(xiàn)當今任何可變形反射鏡中快的響應時間，并且精度僅受電子設備限制。我們的標準驅動器可對整個范圍進行14位控制，使我們的可變形反射鏡具有開箱即用的精度。如果需要更高的精度，可以使用更高的分辨率。

設計概念簡單，但功能強大

工作溫度：-10C – 30C

儲存溫度：-10C – 80C

相對濕度：< 30%RH

鏡面涂層：鋁、金或保護銀

窗口：可提供AR涂層

遲滯：無

步長：亞納米（平均值）

表面類型：連續(xù)（DM）

填充系數(shù)：>99%

表面形貌：<20nm RMS

執(zhí)行器總數(shù)：140

整個孔徑的致動器計數(shù)：12

物理行程（μm）：5.5

波前行程 (µm)：11.0

孔徑（毫米）：4.95

間距（μm）：450

產(chǎn)地：美國