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NUMERIK JENA光柵尺LIK21 vac

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NUMERIK JENA光柵尺LIK21 vac

品　　牌：NUMERIK JENA
型　　號：LIK21 vac
技術資料： UM_LIK_vac_eng
閱讀次數：1313

產品介紹

LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應用。自帶2場EPIFLEX讀數模塊，也適用于惡劣的應用環境。

性能特點

真空版LIK 21，外殼版本1
帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
光柵尺部件滿足真空度達10 E-9 mbar（UHV）的氣壓要求
支持150 °C時12小時的加熱周期
1 Vpp或RS 422輸出信號
多達100倍的細分信號
最小測量步距僅50 nm
運動速度達10 m/s（1 Vpp）

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