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COORSTEK碳化硅陶瓷TPSS

  • 品  牌:COORSTEK
  • 型  號:TPSS
  • 技術資料:
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產品介紹

 TPSS 產品具有高純度、高強度和高耐腐蝕性等多種特性,TPSS是一種導電材料,不易產生靜電。適用于半導體熱處理爐的爐芯管、熱平衡管、舟和叉。 此外,還提供采用 CVD 方法在產品表面鍍上一層超純致密碳化硅膜的產品,以滿足用戶的各種需求。

性能特點

高純度、高強度

高耐腐蝕性

均勻加熱

耐熱震性

抗氧化性

技術參數

產地:日本

比熱(室溫,J/gK):0.69

線膨脹系數(×10 -6 /K):4.3(室溫~1000℃)

導熱系數(室溫,W/mK):175

耐熱震溫度(△T、℃):400

表層材質:CDV碳化硅膜

體積電阻率(Ω厘米):10-1

按等級進行化學分析:TPSS-U

Fe 2.5  Al 0.5  Na 0.2  K 0.2  Ca 0.7  Cu <0.01  Cr 0.1  Ni 0.3

表層材料熱膨脹系數:碳化硅 4.3 石英玻璃 0.5氮化硅 3.5 硅 3.9

硝酸和氫氟酸的混合酸溶液:不會被腐蝕

產品應用

爐芯管、熱平衡管、舟和叉


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