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SENS4真空變送器模塊VPi-4 iVacSens

產品介紹

 iVacSens 系列真空傳感器模塊是較小的寬量程多功能組合真空計。iVacSens 具有全功能傳統真空傳感器的功能,校準后即可交付使用。它專為在真空下操作的儀器(如質譜儀和掃描電子顯微鏡)中的設備集成而設計。iVacSens 基于創紀錄的 SmartPirani MEMS 熱損耗傳感器,與傳統的線式 Pirani、對流規和傳統 MEMS Pirani 相比,具有同類更好的性能、更寬的測量范圍和更高的精度。SmartPirani 傳感器技術與隔膜傳感器相結合,可在 2 至 1,333 mbar范圍內進行不受氣體影響的測量。

性能特點

測量范圍寬達 7 個 10

用于過程控制的 3 個數字設定點輸出

模擬電壓輸出

數字 UART 接口

數字 RS-485 接口

遠程零點調整

超緊湊設計

選型指南

技術參數

產地:丹麥

測量范圍:1x10-6 至 13.33 mbar(7.5x10-7 至 10 托)

測量原理 1x10-6 至 13.3 mbar:MEMS Pirani 熱導率

精度 1x10-5 至 9.99x10-5 mbar:讀數的 25 %

精度 1x10-4 至 9.99x10-1 mbar:讀數的 5 %

精度 1.0 至 10 mbar:讀數的 30 %

磁滯 1x10-3 至 9.99x10-1 mbar:1 %

磁滯 1 至 10 mbar:10 %

真空溫度傳感器范圍:-20 至 + 85°C

真空溫度傳感器精度:+/-1.5 °C

傳感器溫度傳感器范圍:-20 至 + 85°C

傳感器溫度傳感器精度:+/- 1.5 °C

模擬輸出:0.2- 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模擬輸出分辨率:12 位

模擬輸出更新率:124 Hz

響應時間:<20 ms

溫度補償:+10 至 +50 °C

設定點范圍(ABS):5x10-6 至 13.33 mbar(3.75x10-6 至 10 托)

設定點輸出高電平:>2.9 VDC

設定點輸出低電平:<0.4 VDC

Max設定點輸出源電流和灌電流:1 mA

工作環境溫度:-20 至 +50 °C

介質溫度:-20 至 +50 °C

存儲環境溫度:-40 至 +120 °C

烘烤溫度(非工作):+120 °C

Max介質壓力:10 bar (Abs)

安裝位置:任意

防護等級,EN 60529/A2:2013:IP 40

濕度IEC 68-2-38:98%,無冷凝

電源電壓:+3.3 VDC 或 4-18 VDC

功耗:25 mW(Max)3.3 VDC 電源;95 mW(Max)4-18 VDC 電源

產品尺寸

產品應用

質譜儀、掃描電子顯微鏡、泄漏探測器、太空飛行系統、飛輪儲能、真空泵集成、閥門集成


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