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WASCO真空開關SV120-3

產品介紹

自 1989 年以來,業界客戶一直信賴 SV120 系列產品的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結構外,還采用了全不銹鋼傳感器。SV120 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇,精度高,公差小。我們為半導體設備等高純度應用設計了這些開關。SV120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據 SEMI F1 標準,所有開關的氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec。

性能特點

為半導體設備等高純度應用設計

不含任何彈性體或 O 形圈

符合SEMI F1 標準

氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec

選型指南

SV120-3 設定點范圍:1.6 - 25.0 inHg

SV120-5 設定點范圍:6.0 - 29.5 inHg

可選功能與配件

可提供其他配置帶 1/4" 面密封和飛線

可提供其他配置帶 KF25 接頭和 9 針

技術參數

產地:美國

Max系統壓力:30.0 inHg

設定點范圍:1.6 - 25.0 inHg

設定點公差:± 1.2 inHg

典型復位帶:1.0 - 4.6 inHg

潤濕元件 接頭:316L SS

膜片:17-7PH SS

使用壽命:≥ 1,000,000 次

防護等級:IP 65

泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作溫度:-65 至 225 °F;-54 至 107 °C

產品尺寸

產品應用

氣箱、臭氧系統、氣體分配系統、半導體設備


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