VDM-5 傳感器為各種真空應用提供了一體化測量解決方案，確立了新的標準。與其他真空計不同的是，VDM-5 可在 5.0E-3 至 1333 mbar范圍內進行不依賴于氣體的整體測量，具有很高的性價比。在氣體成分或類型可能發生變化的真空應用中，傳統的氣體依賴型皮拉尼真空計會導致測量結果與實際壓力存在偏差。VDM-5 傳感器采用電容式膜片真空計 (CDG) 傳感器，減免了對氣體的依賴性，在氣體性質發生變化時也能提供準確的測量。集成的熱損耗 MEMS 皮拉尼傳感器將測量范圍擴展至 1E-6 mbar，并提供了一種新穎的電容式壓力計自動零點調整功能，從而減免了傳統電容式膜片壓力計手動零點調整的常見需求。用戶可對傳感器設置和參數進行編程，以控制真空系統和應用過程參數。數字 RS-232 或 RS-485 串行接口可用于診斷、預測性維護、服務、校準、設定點配置、模擬輸出縮放，以及獲取實時真空壓力測量值，以便在屏幕上進行可視化。串行 USB 編程器與免費、直觀的配置軟件相結合，為傳感器編程、實時測量和診斷提供了即插即用的解決方案。

測量范圍為 5×10^-3 至 1333 mbar（3.75×10^-3 至 1000 托）

與氣體無關的隔膜傳感器

陶瓷電容隔膜真空計和壓電隔膜   

可安裝在任何方向而不影響性能。

可編程電壓輸出信號，可與其他供應商仿真

數字 RS-232 或 RS-485 接口

用于真空過程控制的三個固態設定點

可選配用于侵蝕性環境的聚對二甲苯傳感器涂層

經濟實惠的緊湊型多傳感器解決方案

15 引腳 HD D-sub RS-232 / RS-485引腳說明

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 常開觸點

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 共用

12 繼電器 2 常開（常開觸點）

13 繼電器 3 常開（常開觸點）  或模擬輸出 2

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 常開（常開觸點）

RS-232 / RS-485 轉 USB 轉換器，帶墻插電源

用于 VPM-5 SmartPirani 傳感器的 USB 轉串口轉換器，帶墻插電源。

部件號 說明

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB, 15 針 HD D-sub, 電源 (90 至 230 VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 轉 USB, 15 針 HD D-sub, 電源 (90 至 230 VAC)

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產地：丹麥

測量范圍：5×10^-3 至 1333 mbar（3.75×10^-3 至 1000 托）

測量原理 5×10^-3 至 3.99 mbar：電容式隔膜真空計 (CDG)

測量原理 4 至 5 mbar：混合 CDG / 壓電讀數

測量原理 5 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 5×10^-2 至 800 mbar：讀數的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：讀數的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：讀數的 0.5 %

精度 100 至 800 mbar：讀數的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：讀數的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：讀數的 0.5 %

磁滯 1×10^-2 至 10 mbar (ISO19685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1200 mbar（ISO19685:2017）：0.1 %

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

真空溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

傳感器溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應時間（ISO 19685:2017）：< 20 ms

溫度補償：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點范圍：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

固態繼電器觸點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態繼電器觸點耐久性：無限制（無機械磨損）

固態繼電器認證：UL 認可： 文件 E76270；CSA 認證： 證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證

工作環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至 +50 ℃

存儲環境溫度：-40 至 +80 ℃

烘烤溫度（非工作）：+80 ℃

Max介質壓力_Abs：4 bar

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：240 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內部保險絲：100 mA（可熱恢復）

外殼材料：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空處理法蘭（介質浸濕）：不銹鋼 1.4401 / AISI 316

真空暴露材料（與介質接觸） 標準版本：316 不銹鋼、氟橡膠、硅、玻璃硅石、低放氣環氧樹脂、焊料、RO4305

真空暴露材料（與介質潤濕） 聚對二甲苯保護型：316 不銹鋼、氟橡膠、聚對二甲苯

真空暴露材料（與介質潤濕）陶瓷保護型：316 不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁陶瓷 (AI₂O₃)

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令 2015/863

器械滅菌、半導體加工、PVD 涂層、CVD 加工、分析儀器、真空爐、空間模擬