用于三維坐標(biāo)測(cè)量的納米定位和納米測(cè)量機(jī)工作在 25 mm x 25 mm x 5 mm 的測(cè)量范圍內(nèi)，分辨率為 0.1 nm。特殊的傳感器布置確保在所有三個(gè)坐標(biāo)軸上進(jìn)行無(wú)誤差測(cè)量. 三個(gè)帶有用于長(zhǎng)度測(cè)量的平面鏡反射器的微型干涉儀的測(cè)量軸在接觸式傳感器與測(cè)量對(duì)象的接觸點(diǎn)處幾乎相交。測(cè)量對(duì)象直接位于可移動(dòng)的鏡角上。鏡角的位置由三個(gè)固定的微型干涉儀記錄。鏡角采用三軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)定位。定位過(guò)程中的角度偏差通過(guò)兩個(gè)角度傳感器進(jìn)行測(cè)量和校正。

高精度的3D多傳感器定位和測(cè)量系統(tǒng)

在所有三個(gè)測(cè)量軸上都實(shí)現(xiàn)了阿貝比較器原理

可選的探測(cè)系統(tǒng)用作零指示器并且是可互換的