快速關閉閥門的主要要求是在出現空氣涌入的情況下能夠快速可靠地做出反應。由于泄漏導致 UHV 或 XHV 環境的損失,尤其是在加速器或儲存環等大容量環境中,可能會導致污染方面的重大問題,以及恢復所需真空水平所需的努力。
75.2 UHV 快速關閉閥系列可在壓力升高時通過快速關閉反應保護真空度。該系列在 10 毫秒以下(取決于閥門直徑)以很快的速度關閉真空管路。關閉后,閥門密封 < E-9 mbarl/s。由于任何毫秒都可以防止損壞程度,因此 75.2 設定了保護基準。
75.2 設計為閘閥 (DN 40),采用氣動驅動。標準烘烤溫度高。閥體max. 200°C執行器為 50°C。閥蓋采用金屬密封,閘門密封采用 FKM,焊接金屬波紋管密封饋通。
快速關閉閥由單獨的控制器控制。控制器通過定期檢查系統、傳感器及其連接的就緒狀態來確保快速關閉時間。該控制器是模塊化的,可以針對不同的閥門/傳感器布置進行配置。快速關閉閥的狀態也由控制器提供遠程輸出。反之亦然,閥門可以通過控制器上的接口進行遠程控制。
75.2 UHV 快速關閉閥系列已經在各種工藝條件下的加速器和儲存環設施中得到證明,已成為可靠的 UHV 和 XHV 系統保護的標準。