壓力控制

該控制器可確保快速，準確的壓力控制。操作LEARN功能只需啟動一次，系統參數是自動確定的。由于自適應算法的控制器連續適應于加工過程條件（氣體、氣體流量），從而確保在任何時候都有壓力控制。

位置控制

在位置控制模式下，閥板可以移動到任何位置。

顯示

狀態和位置是4位的數字顯示。

遙控操作

所述閥可以由主機計算機通過RS232、RS422、RS485、Logic、DeviceNet、以太網、現場總線、CC鏈路或EtherCAT的接口進行控制。 RS232接口與現場總線也有數字輸入以關閉和打開所述閥。此外，數字輸出可用于開放和關閉（閥的狀態）。控制通過邏輯控制接口，通過數字以及模擬輸入和輸出進行。

應用

半導體，FPD和工業過程，特別是化學氣相沉積系統。