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VAT真空氣動閥門264(26系列)26432-KA11-0001,26428-KE41一000

產品介紹

26系列閥門是波紋管密封的,專為泵送系統,半導體技術,研究系統等領域的高真空應用而設計。本系列高真空角閥帶波紋管饋入裝置,模塊化設計。

執行器類型

手動執行器(手輪可拆卸)

電磁執行器(單閉合彈簧NC,帶控制電子元件)

氣動執行器(雙作用)

氣動執行器(帶閉合彈簧NC或打開彈簧NO)

VAT公司由Siegfried Schertler于1964年創立,是一家總部位于瑞士Hagg(靠近St.Gallen)的跨國公司。在真空閥門、模組、波紋管、半導體及真空鍍膜行業的相關服務、研發領域,是全球先進的研發和制造商。公司是經ISO 9001和ISO14001認證的,并定期進行其它的外部評估。

詳細參數

密封:FKM(VITON)

饋入裝置:波紋管

滲漏率:<1.10-9 mbar ls-1

泄漏率底座:<1.10-9 mbar ls-1

公稱內徑(ID)(mm)(inch):10(3/8”) - 250(10”)

閥體材質:鋁; 不銹鋼


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